なぜ半導体の硬化処理に炭素繊維式赤外線ランプを使うのか？ 正直に言えば、従来の方法、つまり溶剤を使った乾燥や巨大な対流オーブンを使う方法はもはや適していません。これらは効率が悪く、大型で、管理も大変です。 そのため、私たちは炭素繊維式赤外線ランプを採用するようにしました。部屋中の空気を温めるのに時間を費やす代わりに、このランプは直接基材を加熱します。これはずっと効率的な方法であり、「グリーン」で無鉛化された製造方式にも合致しています。
この技術の仕組み 従来の金属フィラメントは、電流によって発熱するだけですが、私たちが使用しているのは、石英のケースの中に入った炭素系のフィラメントです。 これにより、中波から長波の赤外線が放出されます。最良な点は、そのエネルギーが直接フォトレジストや接着剤層に届くことです。燃焼源が不要で、オゾンを発生させる紫外線ランプの心配もありません。完全にクリーンな熱です。VOCも出ず、汚れもありません。
速度とパワー（ただし注意が必要） このランプは非常に高速です。本当に速いのです。 炭素フィラメントは多くの熱を保持しないため、ほぼ瞬時に加熱されます。巨大なオーブンを稼働させて待つ必要はありません。 しかし、熱密度は非常に高いので、高速で加工する場合は、コンベヤーの冷却部分が十分に大きいことが必要です。そうでないと、ウェーハが歪んだり、端部分が過熱したりしてしまいます。
実際の現場での活用 無鉛のはんだや環境に優しい接着剤を使っている場合、それらはとてもデリケートです。部品を損傷させないように、特定の温度条件が必要です。 炭素繊維式赤外線ランプを使えば、材料が吸収するのに最適な波長を調整できます。つまり、強力な化学触媒に頼る必要がなくなります。 また、スペース節約にもなります。古い対流システムを取り替えることで、硬化処理用ステーションのサイズを半分に削減できます。部屋全体を温めるのではなく、実際に加熱が必要な部分だけを温めることができます。