なぜクリーンルームで強制送風式の加熱法をIR加熱法に置き換えるのか？ 半導体製造においては、すべてが「時間」にかかっています。つまり、どれだけの時間を無駄にしているかということです。 私たちの多くは、部品を加熱したり乾燥させたりするという面倒な作業に直面してきました。ただ座って、装置が準備できるの...

はじめに さっそく本題に入りましょう。私たちが開発したのは、ウエハ乾燥用の赤外線ヒーターです。とてもシンプルな製品です。その目的というのは、高価な海外ブランドの製品に頼らずに、効果的で純粋な熱を供給することです。 これは、簡単に交換可能な設計です。複雑な取り付け作業をせずに、信頼性の高い熱出力が得...

ファブフロアでは、時間は単なる便宜ではなく、尊重すべきパラメータである。数秒ずれたソフトベイクはフォトレジスト内に溶剤を閉じ込めてしまい、その後のリソ工程で欠陥を招く原因となる。乾燥サイクルを短縮すれば、水分が残留し、これが酸化を引き起こす。 ウエハ乾燥炉のタイマーは、時間を再現可能かつ計測可能な...