はじめに
さっそく本題に入りましょう。私たちが開発したのは、ウエハ乾燥用の赤外線ヒーターです。とてもシンプルな製品です。その目的というのは、高価な海外ブランドの製品に頼らずに、効果的で純粋な熱を供給することです。
これは、簡単に交換可能な設計です。複雑な取り付け作業をせずに、信頼性の高い熱出力が得られるように設計されています。
内部構造
ウエハ乾燥においては、迅速に熱が必要です。そのため、このヒーターはそのニーズに合わせて設計されています。
これは400Vの高電圧設計で、300mmの筒状の形状に2500Wの出力が込められています。狭いスペースで大きな熱量を生み出すことができるので、迅速に所定の温度に到達できます。
ただし、この高い出力を利用するためには、オーブンの冷却機能や空気の流れが適切である必要があります。計画を立てる際には、その点を考慮してください。
また、300mmという長さも偶然ではありません。標準的なオーブンの内部に簡単に収まるように設計されているので、オーブン全体を再設計する必要はありません。熱が最も必要な場所に直接配置されます。
長期間使用に耐える設計
ハロゲンを含んだクォーツ管を選んだのには理由があります。それは安定性です。オーブンが繰り返し加熱・冷却されても、出力が一定に保たれます。クォーツはそのような温度変化にも優れて対応します。
短波赤外線コーティングにより、熱が必要な場所に集中します。つまり、不要な場所に熱が漏れることはありません。
R7sコネクタも実用的な選択です。ヒーターをしっかり固定し、電流を適切に制御し、プラグアンドプレイ式の交換が可能になります。一度配線すれば、振動や熱による膨張があっても位置がずれることはありません。
なぜこれが適しているのか
ウエハ乾燥においては、温度を均一に保ち、汚れや湿気が溜まらない環境を維持することが重要です。このヒーターの純度の高い光により、不要な場所に熱が漏れることがなく、効率的に熱が供給されます。
その結果、オーブンの起動時間が短縮され、メンテナンスにかかる時間も減ります。大手ブランドに匹敵する性能を得られますが、高額な費用はかかりません。
さらに、最大限の稼働時間を得るためには、端子の電圧を定期的にチェックすることが重要です。そうすることで、接続抵抗によって生じる局部的な過熱を防ぐことができます。