なぜ、バスルーム用のヒーターガラスを安易に扱ってはいけないのか？ シャワーを使うときのことを考えてみてください。強力な熱を発するヒーターランプがある一方で、冷たい水滴がそれに当たってしまいます。 これは、普通のガラスでは大惨事を招く行為です。極めて高温のものと極めて低温のものが接触すると、ガラスは...

赤外線加熱とホットエア：どちらがウェーハの処理に適しているのか？ もし依然として半導体加工にホットエアを使用しているのであれば、それはまるで待つだけの作業です。 その仕組みを考えてみましょう。まず空気を加熱し、その空気がチャンバー内を温め、やがてウェーハが温まります。これはゆっくりと進む連鎖反応で...