ファブ内での熱の無駄遣いをやめましょう。 正直言って、無駄に電力を消費するのは、単なるお金の無駄です。 ほとんどのファブでは標準的なアルミニウム製の反射板が使われていますが、問題は、その反射板が赤外線エネルギーを散らしてしまうことです。その結果、ワイハーに熱が届かず、その熱が機械のケース内に逃げて...

状況が不安定になったときでも、IRランプを安全に保つ方法 正直に言えば、可燃性の蒸気や爆発性の化学物質のそばで高温度のIRランプを使うのは、非常に危険なことです。ちょっとした火花や漏れがあっただけで、大きな問題が発生してしまいます。 私たちは、そのようなストレスから解放される方法を見つけました。そ...

なぜ半導体の硬化処理に炭素繊維式赤外線ランプを使うのか？ 正直に言えば、従来の方法、つまり溶剤を使った乾燥や巨大な対流オーブンを使う方法はもはや適していません。これらは効率が悪く、大型で、管理も大変です。 そのため、私たちは炭素繊維式赤外線ランプを採用するようにしました。部屋中の空気を温めるのに時...

もう、装置自体を加熱するのはやめて、ウェーハを加熱しましょう。 半導体製造工場におけるほとんどの加熱方式には問題があります。それは、無駄なエネルギーの消費です。 一般的な放射型ヒーターを使うと、熱があちこちに行ってしまいます。まるで、大きな火で一つのろうそくを灯そうとするようなものです。結果として...

なぜステンレス製のヒーターハウジングに対して誘電体試験を行うのか？ 工業用ヒーター用のステンレス製ハウジングを作る際、その金属製の外殻がまず最初の防護手段となります。しかし、実際には、外殻の性能はその内部の絶縁性能次第です。だからこそ、私たちは単に抽出検査を行うだけではありません。すべての製品は、...

半導体製造工場での炭素排出削減：なぜ赤外線加熱が効果的か もし、半導体製造工場を真にカーボンニュートラルにしようと思うなら、熱の扱い方を無視することはできない。 従来の対流式オーブンや抵抗加熱器は、ウェハに触れる前に、エネルギーの半分を空気やチャンバーの壁を温めるために消費してしまう。まるで、キッ...

なぜ400V、高密度の赤外線ヒーターを開発したのか？ 工場で働くとき、高価な輸入製のヒーターを見て、「同じ性能なのになぜこんなに高いのか」と思ったことはありませんか？私たちも同じように感じました。そこで、同じ性能を維持しつつ、高価な輸入品に代わるものとして、この400Vの赤外線ランプを開発しました...

実際には、温度の変動というのは単なる理論上の問題ではありません。それは、製品の品質に直結する問題です。もし、焼成時の温度が0.5度でもずれてしまうと、フォトレジストの厚さやCD精度が狂ってしまいます。また、焼成温度が高すぎると、応力が生じ、ウェハの端にスケールが付着してしまいます。ヒーターの性能が...

ファブの現場では、フォトレジストを加熱する際に0.5℃の温度変動があっただけで、重要な寸法がナノメートル単位で変わってしまいます。不良品が1つでも出れば、そのロット全体を廃棄しなければなりません。私たちは、この現実に基づいて国際規格に準拠した産業用ヒーターを開発しました。つまり、ソフトベイク、ハー...

Role ファブフロアではドリフトは許されない。フォトレジストのベークで0.3℃の変動があれば、クリティカルディメンションの予算は崩壊する。エッチングチャンバーにウェハーが入る前に歩留まりが低下するのだ。私たちはこの問題を防ぐために、熱制御がプロセスに追従するカスタム産業用赤外線ファブシステムを構...