なぜウェーハの硬化処理において金メッキが重要なのか ウェーハを硬化処理する際、最も重要なのは、無駄な電力を使わずに、基板に適切な量の熱を与えることです。ほとんどの場合、その赤外線エネルギーの多くが機械の筐体の中に漏れてしまいます。これは明らかな無駄です。 そこで役立つのが、金メッキされた反射板です...

もう、装置自体を加熱するのはやめて、ウェーハを加熱しましょう。 半導体製造工場におけるほとんどの加熱方式には問題があります。それは、無駄なエネルギーの消費です。 一般的な放射型ヒーターを使うと、熱があちこちに行ってしまいます。まるで、大きな火で一つのろうそくを灯そうとするようなものです。結果として...