なぜウェーハの硬化処理において金メッキが重要なのか ウェーハを硬化処理する際、最も重要なのは、無駄な電力を使わずに、基板に適切な量の熱を与えることです。ほとんどの場合、その赤外線エネルギーの多くが機械の筐体の中に漏れてしまいます。これは明らかな無駄です。 そこで役立つのが、金メッキされた反射板です...

激しい状況下でのウェーハの加熱 正直に言えば、可燃性の化学物質が充満した部屋に加熱要素を設置するのは非常に危険なことです。わずかな火花やシャーシの一部が過熱してしまうだけで、単に機器が壊れるだけでなく、大惨事につながりかねません。 だからこそ、私たちはIRランプを特別な方法で作っているのです。 悪...

赤外線を活用してMEMSウェーハを適切に乾燥させる方法 スマートファブを構築する際には、すべてがデータによって制御される必要があります。しかし、MEMSセンサーのウェーハを乾燥させる場合、ソフトウェアと同じくらいハードウェアも重要です。そのため、私たちは従来の対流式オーブンではなく、短波長の赤外線...

赤外線加熱とホットエア：どちらがウェーハの処理に適しているのか？ もし依然として半導体加工にホットエアを使用しているのであれば、それはまるで待つだけの作業です。 その仕組みを考えてみましょう。まず空気を加熱し、その空気がチャンバー内を温め、やがてウェーハが温まります。これはゆっくりと進む連鎖反応で...

なぜ、すべての部品をテストするのか（そして、なぜそれが重要なのか） ウェーハ処理用の加熱素子を製造する際には、「小さな」ミスなど存在しません。わずかな電気漏れがあっただけで、そのロット全体が廃棄されてしまいます。 この業界では、数個の製品をサンプルとしてテストするというのは、私たちが冒す余裕のない...

ガラスウェーハの場合、シリコンとは性質が異なります。ガラスウェーハは透明であり、熱容量も低く、温度勾配に対して非常に敏感です。もし高温領域がわずかにずれてしまうと、フォトレジストの形状が崩れ、CDの精度が悪化し、ロット全体の品質が低下してしまいます。そこで、ガラス加工用に設計された赤外線ランプが役...

パッケージングラインでは、ウェーハレベルCSPに熱ドリフトの余地はない。フォトレジストのソフトベイクまたはエンキャプスレーション硬化中のわずか半度の変動が、重要寸法のズレや歩留まりの低下を招き、高価な再作業のためにウェーハを戻すことになる。私たちは、その不確実性を根本から排除するためにウェーハレベ...