ウェーハ加熱時の安全距離

赤外線加熱とホットエア：どちらがウェーハの処理に適しているのか？ もし依然として半導体加工にホットエアを使用しているのであれば、それはまるで待つだけの作業です。 その仕組みを考えてみましょう。まず空気を加熱し、その空気がチャンバー内を温め、やがてウェーハが温まります。これはゆっくりと進む連鎖反応で...