カスタム工業用赤外線ファブシステム

Role ファブフロアではドリフトは許されない。フォトレジストのベークで0.3℃の変動があれば、クリティカルディメンションの予算は崩壊する。エッチングチャンバーにウェハーが入る前に歩留まりが低下するのだ。私たちはこの問題を防ぐために、熱制御がプロセスに追従するカスタム産業用赤外線ファブシステムを構...