クリーンルーム用赤外線ヒーター
半導体製造における炭素削減:なぜIR加熱が最適なのか
半導体製造というのは、バランスを取る必要がある作業です。極端な高温が必要であり、同時に高精度も求められます。しかし、わずかなほこりでも全体の品質を損なってしまいます。
長年にわたり、対流式オーブンが使用されてきました。しかし、問題点があります。...
クリーンルーム用オーブン 赤外線ヒーター
なぜクリーンルームで強制送風式の加熱法をIR加熱法に置き換えるのか? 半導体製造においては、すべてが「時間」にかかっています。つまり、どれだけの時間を無駄にしているかということです。 私たちの多くは、部品を加熱したり乾燥させたりするという面倒な作業に直面してきました。ただ座って、装置が準備できるの...
半導体クリーンルーム用トロリーヒーター
化学的なクリーニング室内で半導体を加熱する際には、安全性を確保する必要があります。そこでは、揮発性で可燃性の高い蒸気が存在するため、かなり危険な状況になります。
一般的なIRランプは「開放型」であり、加熱要素が直接外に露出しています。このような環境では、わずかな火花や端子の過熱でも大事故につながり...