バイオセンサーに適切な温度を与えるために もしバイオセンサーを作成しているのであれば、その難しさはご存知でしょう。非常に小さな領域で作業を行うため、すべてが完璧でなければなりません。もし「スマートファブ」を構築しようとするなら、遅い加熱器ではダメです。PLCからの指示があった瞬間にすぐに反応できる...

バイオセンサーに適切な熱を与えるには バイオセンサーを製造する際には、微妙なバランスを取る必要があります。ポリマーを硬化させたり、試薬の反応を促進させるためには十分な熱が必要ですが、過度に熱を加えると基板が損傷し、全体の製品が台無しになってしまいます。 そのため、私たちは赤外線ランプを使用します。...

オーブンが温まるのを待つのはやめましょう：IR加熱の利点 半導体製造に携わったことがある人なら、待つという行為がどれほどイライラするかご存知でしょう。特に、強制送風装置が所定の温度に達するのを待つのは、まるで永遠に続くように感じます。 だからこそ、私たちの多くは赤外線（IR）ランプを使うようになっ...

熱の無駄遣いをやめましょう：バイオセンサーワェーハーを処理するためのより良い方法 もし、バイオセンサーの硬化処理や塗布作業に携わったことがあるなら、適切な温度制御を実現するのがどれほど難しいかご存知でしょう。一般的な赤外線ランプは効率が悪く、消費されたエネルギーの半分は装置の筐体に戻ってしまいます...

なぜウェーハの硬化処理において金メッキが重要なのか ウェーハを硬化処理する際、最も重要なのは、無駄な電力を使わずに、基板に適切な量の熱を与えることです。ほとんどの場合、その赤外線エネルギーの多くが機械の筐体の中に漏れてしまいます。これは明らかな無駄です。 そこで役立つのが、金メッキされた反射板です...

なぜ半導体の硬化処理に金メッキされた赤外線ランプを使用するのか？ もし半導体製造工場で働いたことがある人なら、正確な温度管理がいかに難しいかを知っているはずです。無鉛化の要求や環境への配慮から、許容される誤差はほとんどありません。 そこで登場するのが、金メッキされた赤外線ランプです。巨大で消費電力...

金コーティングされたツインチューブ型IRランプを使用して、ファブ内の二酸化炭素排出量を削減する 半導体製造において二酸化炭素排出量を減らしたいのであれば、まずは熱という問題から取り組む必要があります。通常、最も多くのエネルギーが無駄に消費されるのがここです。 そのため、私たちは金コーティングされた...

空気を加熱するのをやめて、部品自体を直接加熱しましょう。 もしこみつきの熱風を使って半導体の硬化や乾燥処理を行っているのであれば、おそらく同じような問題に悩んでいるはずです。空気は熱を伝えるのに全く向いていません。 結局、基板が実際に温まるまで待たざるを得ず、その間に大量のエネルギーが無駄に消費さ...

状況が不安定になったときでも、IRランプを安全に保つ方法 正直に言えば、可燃性の蒸気や爆発性の化学物質のそばで高温度のIRランプを使うのは、非常に危険なことです。ちょっとした火花や漏れがあっただけで、大きな問題が発生してしまいます。 私たちは、そのようなストレスから解放される方法を見つけました。そ...

なぜ半導体の硬化処理に炭素繊維式赤外線ランプを使うのか？ 正直に言えば、従来の方法、つまり溶剤を使った乾燥や巨大な対流オーブンを使う方法はもはや適していません。これらは効率が悪く、大型で、管理も大変です。 そのため、私たちは炭素繊維式赤外線ランプを採用するようにしました。部屋中の空気を温めるのに時...

もう、装置自体を加熱するのはやめて、ウェーハを加熱しましょう。 半導体製造工場におけるほとんどの加熱方式には問題があります。それは、無駄なエネルギーの消費です。 一般的な放射型ヒーターを使うと、熱があちこちに行ってしまいます。まるで、大きな火で一つのろうそくを灯そうとするようなものです。結果として...

壁を加熱するのをやめよう：半導体製造装置を効率的に扱うための新しい方法 お使いの装置で「壁が熱くなる」という問題に悩んだことはありませんか？それは本当に厄介な問題です。通常の赤外線ヒーターを使うと、熱があちこちに広がってしまいます。 やがて、高価な真空チャンバーや処理装置が巨大な放熱体のように機能...

是非を説く 私たちがこの防水型の赤外線ハロゲンランプを開発したのには、一つの理由があります。それは、半導体製造における洗浄や乾燥の工程をスムーズに進めるためです。 目標は単純です。迅速かつ均一な熱を表面に与えて、洗浄残渣を除去することです。そして、汚染を引き起こさないようにしながら、地球に優しい方...

はじめに 率直に言えば、私たちは、高価な海外ブランドの製品に代わる、実用的で信頼性の高い半導体式赤外線ヒーターランプを製造しています。 つまり、同じくらいの明るさと強力な加熱性能を誇りながら、高額なコストを抑えることができるのです。工場で働くあなたにとっては、予算を無駄にせずに、システムをスムーズ...

ガラスウェーハの場合、シリコンとは性質が異なります。ガラスウェーハは透明であり、熱容量も低く、温度勾配に対して非常に敏感です。もし高温領域がわずかにずれてしまうと、フォトレジストの形状が崩れ、CDの精度が悪化し、ロット全体の品質が低下してしまいます。そこで、ガラス加工用に設計された赤外線ランプが役...

リソグラフィフロアでは、フォトレジストベークの温度が0.5℃ずれるだけで、いつの間にかカリアー全体が廃棄になるようなミスに繋がります。プロセスカードで指定された場所に、毎回正確に熱を加えなければなりません。しかも、粒子の発生やバラつきを一切増やすことなくです。 技術的に重要な点 ツインチューブ赤外...