ガラスウェーハ処理用赤外線ランプ

ガラスウェーハの場合、シリコンとは性質が異なります。ガラスウェーハは透明であり、熱容量も低く、温度勾配に対して非常に敏感です。もし高温領域がわずかにずれてしまうと、フォトレジストの形状が崩れ、CDの精度が悪化し、ロット全体の品質が低下してしまいます。そこで、ガラス加工用に設計された赤外線ランプが役...