真空チャンバー用赤外線ヒーター
ヒーターが真空環境を台無しにするのを防ぎましょう。
クラス100のクリーンルームを運用している方なら、その対策はご存知でしょう。フィルターや手順はしっかりと管理されていますが、依然として問題となるのがヒーター要素です。
ほとんどのIRランプは一般的な作業には問題ありませんが、高温になると微粒子やガ...
真空対応の赤外線ヒーター
なぜ半導体の加熱には真空式赤外線加熱が最適なのか
業界では、鉛フリーや低炭素化の基準が強く求められている。理論上は素晴らしいことのように思えますが、実際に機械を操作する人々にとっては大きな悩みの種となります。
従来の対流式オーブンでは、真空状態では使えません。真空状態では空気を動かすことができず、...