ヒーターが真空環境を台無しにするのを防ぎましょう。
クラス100のクリーンルームを運用している方なら、その対策はご存知でしょう。フィルターや手順はしっかりと管理されていますが、依然として問題となるのがヒーター要素です。
ほとんどのIRランプは一般的な作業には問題ありませんが、高温になると微粒子やガスが放出されます。真空状態では、そのような汚れを排出する空気が存在しないため、ヒーターから出たものが直接基板上に付着してしまいます。
だからこそ、私たちは高純度の合成石英を使用しています。
**秘密はシリカにあります。**私たちは水酸基（OH）含有量が非常に少ないものを使用しています。なぜかというと、これによって管が高温になっても柔らかくなるのを防ぎ、不純物が真空内に漏れ込むのを防げるからです。残留物がないからこそ、ウェーハに奇妙な汚れが付着することもありません。常に清潔な状態が保たれます。
しかし、真空状態では対流による冷却が不可能です。空気による熱の移動を頼ることはできません。
私たちのランプは、放射によってエネルギーを直接ターゲットに送り込むように設計されています。また、電極接合部の密封性も強化されており、何も漏れ出さないようにしています。
ひとつアドバイス：ワット数に注意してください。もし、チャンバーの壁に十分な放熱材がない状態で、狭いスペースに多すぎるワット数のランプを使えば、真空密封部が壊れてしまいます。一度それが起きると、大変なことになります。
これらのランプをシステムに取り付ける際には、簡単に行えるようにしています。いくつかの異なるコネクタオプションを用意しているので、簡単に取り付けられます。
自分でアレイを作成する場合でも、既存のランプを交換する場合でも、しっかりと固定されます。ただし、電圧の安定性には注意が必要です。急激な電圧の変動によって、フィラメントが早く破損する可能性があります。定格電圧を守れば、ランプは長持ちします。