TSV シリコン貫通ビア ヒーター

製造ラインでは、ウェハの乾燥やフォトレジストの焼成時に生じる熱的なドリフトは、単なる生産停止要因にとどまりません。それによって、電気的なテストを行うまで気づかれない欠陥が発生し、その時点で再作業が必要になります。TSVヒーターは、このようなドリフトを根本的に防ぐために設計されており、各段階での温度...