金コーティングされたツインチューブ型IRランプを使用して、ファブ内の二酸化炭素排出量を削減する 半導体製造において二酸化炭素排出量を減らしたいのであれば、まずは熱という問題から取り組む必要があります。通常、最も多くのエネルギーが無駄に消費されるのがここです。 そのため、私たちは金コーティングされた...

リソグラフィフロアでは、フォトレジストベークの温度が0.5℃ずれるだけで、いつの間にかカリアー全体が廃棄になるようなミスに繋がります。プロセスカードで指定された場所に、毎回正確に熱を加えなければなりません。しかも、粒子の発生やバラつきを一切増やすことなくです。 技術的に重要な点 ツインチューブ赤外...