赤外線加熱とホットエア：どちらがウェーハの処理に適しているのか？ もし依然として半導体加工にホットエアを使用しているのであれば、それはまるで待つだけの作業です。 その仕組みを考えてみましょう。まず空気を加熱し、その空気がチャンバー内を温め、やがてウェーハが温まります。これはゆっくりと進む連鎖反応で...

リソグラフィフロアでは、フォトレジストベークの温度が0.5℃ずれるだけで、いつの間にかカリアー全体が廃棄になるようなミスに繋がります。プロセスカードで指定された場所に、毎回正確に熱を加えなければなりません。しかも、粒子の発生やバラつきを一切増やすことなくです。 技術的に重要な点 ツインチューブ赤外...