赤外線を活用してMEMSウェーハを適切に乾燥させる方法 スマートファブを構築する際には、すべてがデータによって制御される必要があります。しかし、MEMSセンサーのウェーハを乾燥させる場合、ソフトウェアと同じくらいハードウェアも重要です。そのため、私たちは従来の対流式オーブンではなく、短波長の赤外線...

製造現場において、フォトレジストの焼成処理は「一時停止」というわけではありません。それは厳格な制約事項です。もしホットプレートの位置がずれると、CDの精度も低下してしまいます。均一性が保てなければ、ウェーハ全体の歩留まりが悪くなってしまいます。MEMSの場合、熱管理は非常に重要であり、温度の誤差が...