状況が不安定になったときでも、IRランプを安全に保つ方法 正直に言えば、可燃性の蒸気や爆発性の化学物質のそばで高温度のIRランプを使うのは、非常に危険なことです。ちょっとした火花や漏れがあっただけで、大きな問題が発生してしまいます。 私たちは、そのようなストレスから解放される方法を見つけました。そ...

ガラスウェーハの場合、シリコンとは性質が異なります。ガラスウェーハは透明であり、熱容量も低く、温度勾配に対して非常に敏感です。もし高温領域がわずかにずれてしまうと、フォトレジストの形状が崩れ、CDの精度が悪化し、ロット全体の品質が低下してしまいます。そこで、ガラス加工用に設計された赤外線ランプが役...