ファブフロアでは、時間は単なる便宜ではなく、尊重すべきパラメータである。数秒ずれたソフトベイクはフォトレジスト内に溶剤を閉じ込めてしまい、その後のリソ工程で欠陥を招く原因となる。乾燥サイクルを短縮すれば、水分が残留し、これが酸化を引き起こす。 ウエハ乾燥炉のタイマーは、時間を再現可能かつ計測可能な...

スピンドライヤーの蓋が降り、ウェハーは最後のリンス水を完全に除去するために制御された空間に収まる。スポット、汚れ、異物は許されない。300 mmラインでは、乾燥時の温度許容範囲は一桁のミリ度単位で測定されるほど厳しい。数十分の1℃の温度変動でも、エッジ部のフォトレジストが薄くなったり、CDバイアス...