工業用ファブヒーターの交換

実際には、温度の変動というのは単なる理論上の問題ではありません。それは、製品の品質に直結する問題です。もし、焼成時の温度が0.5度でもずれてしまうと、フォトレジストの厚さやCD精度が狂ってしまいます。また、焼成温度が高すぎると、応力が生じ、ウェハの端にスケールが付着してしまいます。ヒーターの性能が...