ファブ内での熱の無駄遣いをやめましょう。 正直言って、無駄に電力を消費するのは、単なるお金の無駄です。 ほとんどのファブでは標準的なアルミニウム製の反射板が使われていますが、問題は、その反射板が赤外線エネルギーを散らしてしまうことです。その結果、ワイハーに熱が届かず、その熱が機械のケース内に逃げて...

赤外線を活用してMEMSウェーハを適切に乾燥させる方法 スマートファブを構築する際には、すべてがデータによって制御される必要があります。しかし、MEMSセンサーのウェーハを乾燥させる場合、ソフトウェアと同じくらいハードウェアも重要です。そのため、私たちは従来の対流式オーブンではなく、短波長の赤外線...

はじめに さっそく本題に入りましょう。私たちが開発したのは、ウエハ乾燥用の赤外線ヒーターです。とてもシンプルな製品です。その目的というのは、高価な海外ブランドの製品に頼らずに、効果的で純粋な熱を供給することです。 これは、簡単に交換可能な設計です。複雑な取り付け作業をせずに、信頼性の高い熱出力が得...

ファブフロアでは、時間は単なる便宜ではなく、尊重すべきパラメータである。数秒ずれたソフトベイクはフォトレジスト内に溶剤を閉じ込めてしまい、その後のリソ工程で欠陥を招く原因となる。乾燥サイクルを短縮すれば、水分が残留し、これが酸化を引き起こす。 ウエハ乾燥炉のタイマーは、時間を再現可能かつ計測可能な...

スピンドライヤーの蓋が降り、ウェハーは最後のリンス水を完全に除去するために制御された空間に収まる。スポット、汚れ、異物は許されない。300 mmラインでは、乾燥時の温度許容範囲は一桁のミリ度単位で測定されるほど厳しい。数十分の1℃の温度変動でも、エッジ部のフォトレジストが薄くなったり、CDバイアス...

電力と物理的現実：このヒーターの動作原理 産業用衣類乾燥は繊細な作業ではない。大量の空気と水分を迅速に移動させるヒーターが必要だ。 そのため、このヒーターは400V、2500Wで設計されている。これは適当な数値ではなく、ドラム内部の空気をほぼ瞬時に所定の温度まで加熱するために必要な正確な電力である...