OEM半導体ヒーター要素

リソグラフィー工程において、フォトレジストを加熱する際に0.3°Cの温度変動があるだけで、大量の製品が廃棄処分になってしまいます。ウェーハは、温度が一定でなければ何の役にも立ちません。したがって、温度を安定して維持できるヒーターが必要です——単なる推測では不十分です。 重要なのは何か 私たちが開発...