ウェハ乾燥炉用タイマー

ファブフロアでは、時間は単なる便宜ではなく、尊重すべきパラメータである。数秒ずれたソフトベイクはフォトレジスト内に溶剤を閉じ込めてしまい、その後のリソ工程で欠陥を招く原因となる。乾燥サイクルを短縮すれば、水分が残留し、これが酸化を引き起こす。 ウエハ乾燥炉のタイマーは、時間を再現可能かつ計測可能な...