半導体ヒーター用熱電対

なぜ断熱材が半導体の安定した加熱に不可欠なのか 半導体製造において温度を管理する際、「十分であればいい」というわけにはいきません。たったわずかな変動でも、すべてを台無しにしてしまうことがあります。そのため、厳しい温度変化に耐えられるように、特別なサーミスタが使われています。しかし、実際に問題となる...