化学的なクリーニング室内で半導体を加熱する際には、安全性を確保する必要があります。そこでは、揮発性で可燃性の高い蒸気が存在するため、かなり危険な状況になります。
一般的なIRランプは「開放型」であり、加熱要素が直接外に露出しています。このような環境では、わずかな火花や端子の過熱でも大事故につながります。だからこそ、私たちは開放型のランプの使用をやめ、封じ込め型のIRアセンブリを使用するようにしました。
鍵は密封性にあります。
加熱要素を高透過率の石英製のケースの中に入れ、さらにそのケースを二次的な保護ケースで覆います。これにより、電流と空気との間に物理的な壁ができます。完全に密閉されているため、可燃性の化学物質の蒸気が加熱要素に近づくことはありません。
通常、この保護ケースはアノダイズ処理されたアルミニウムやステンレス鋼で作られています。なぜかというと、酸素の影響を受けやすい他の材料では耐えられないからです。また、数百回の加熱サイクル後でも密封性が失われないように、高温用のガスケットも使用されています。
しかし、問題点もあります。
ランプをケースで覆うと、自然な空気の流れが遮断されてしまいます。その結果、熱が逃げ場を失い、注意しなければランプ自体が破損してしまいます。
これを解決するために、私たちは保護ケース内にヒートシンクや強制空冷装置を組み込んでいます。また、短波長のIRエミッターを使用することで、熱がより迅速に伝わり、ヒーターが長時間高温で動作する必要がなくなります。これにより、密封部への負荷も大幅に減少します。
設置時に注意すべき点です。
これらの装置は、既存のヒーターの代わりとして使えますが、サイズが大きくなります。安全用のケースがスペースを取ってしまうのです。注文する前に、カートの構造が十分なスペースを持っているかを必ず確認してください。
また、配線用には防爆コンデュイットが必要です。
最後に、これらの装置は単体のランプよりも重いため、温まって安定するまでに少し時間がかかります。そのため、PIDコントローラーを調整して遅延を補う必要があります。そうしないと、最初は温度の測定値が少し不正確になる可能性があります。