半導体クリーンルーム用トロリーヒーター

化学的なクリーニング室内で半導体を加熱する際には、安全性を確保する必要があります。そこでは、揮発性で可燃性の高い蒸気が存在するため、かなり危険な状況になります。 一般的なIRランプは「開放型」であり、加熱要素が直接外に露出しています。このような環境では、わずかな火花や端子の過熱でも大事故につながり...