激しい状況下でのウェーハの加熱
正直に言えば、可燃性の化学物質が充満した部屋に加熱要素を設置するのは非常に危険なことです。わずかな火花やシャーシの一部が過熱してしまうだけで、単に機器が壊れるだけでなく、大惨事につながりかねません。
だからこそ、私たちはIRランプを特別な方法で作っているのです。
悪影響を与えるものを防ぐ
最も心配なのは、電気的な接点です。もし可燃性のガスがそこに入ってしまったら、問題が発生します。
私たちは普通のガスケットを使うのではなく、高温用のガラスと金属を使用した専用の封止処理を施しています。これにより、完全に密閉された環境が作り出されます。
これには2つの利点があります。第一に、有害な溶剤がタングステンフィラメントを腐食させるのを防ぎます。第二に、外部のガスがワイヤーの接続部分で燃焼するのを防ぎます。これにより、安心感が得られます。
熱の管理（ストレスなしで）
安全というのは、単に密封だけではありません。実際に熱がどのように移動するかも重要です。
私たちは短波長のIRエミッターを使用しています。そうすることで、エネルギーが迅速にウェーハ表面に到達します。エネルギーが早く浸透すれば、周囲の空気が放射熱を吸収する時間も短くなります。また、温度を急激に変化させてもランプが割れないように、石英の厚さも強化しています。
ただし、ワット数を上げすぎると、その石英管が非常に高温になります。本当に高温です。
もし筐体の換気が十分でない場合、熱が筐体内に溜まってしまいます。状況をコントロールするために、正確に調整されたPIDコントローラーを使用することをお勧めします。そうすれば、温度が過剰に上昇するのを防ぎ、安定した状態を保つことができます。
使いやすさの向上
これらの製品は、簡単に交換できるように設計されています。誰も、週末を費やしてシステムの配線をやり直したくはありませんよね。
配線は耐爆性のある導管を通っているので、万が一電気的な問題が発生しても、故障が内部に留まります。接続するときは、コネクタが正確なトルクで締められているかを確認してください。アークが発生しないようにする必要があります。
もし既に標準的なIRアレイを使用している場合、これらの製品をそのまま使えます。ただし、安全センサーが私たちが使用している特定の波長に設定されているかを確認してください。そうすれば問題ありません。