Waarom goudcoatingen belangrijk zijn voor het drogen van wafers
Wanneer je wafers laat drogen, gaat het er in feite alleen om één ding: voldoende warmte op het substraat brengen, zonder dat er veel energie verspild wordt. Meestal gaat een groot deel van de infraroodenergie gewoon verloren in het behuizing van de machine. Dat is zonde.
Daar komen goudcoördereffectoren om de hoek kijken.
De magie van goud (en waarom aluminium niet werkt)
De meeste mensen beginnen met aluminiumreflectoren, maar daar zit een nadeel. Bij langere golflengten kan aluminium de energie niet goed terugkaatsen. Goud is anders: het kaatst bijna 98% van de infraroodenergie terug.
Door de behuizing van de lamp te bekleden met een dun laagje goud, dwingen we de fotonen om terug te gaan richting de wafer. Hierdoor werkt elke watt efficiënter. Er wordt een betere focusheldheid bereikt, waardoor de gewenste temperatuur sneller wordt bereikt. Dit bespaart enorm veel tijd.
Het gaat om de vorm
De vorm van de reflector bepaalt waar de warmte terechtkomt. Als je een paraboolvorm gebruikt, komt de energie in een smalle band terecht. Wil je dat de energie zich verspreidt? Kies dan voor een elliptische vorm. Maar hier is het probleem: als de reflector zelfs maar een paar graden scheef staat, ontstaan er hete plekken.
Die hete plekken zijn een nachtmerrie. Ze kunnen de wafer beschadigen of ervoor zorgen dat de droogingsproces ongelijkmatig verloopt. Daarom besteden we veel tijd aan het zorgen dat de reflector perfect past bij het brandpunt van de lamp. Het moet absoluut precies kloppen.
Het nadeel: het is gevoelig
Goud levert wel de beste thermische terugkaatsing op, maar het is niet onbreekbaar. Goud is zacht – echt heel zacht. Eén kras of chemisch vuil op het oppervlak kan het licht verstrooien en de efficiëntie verminderen. Je kunt ze niet zomaar schoonmaken met een schuurpad; dat kan ze juist beschadigen. Hetzelfde geldt voor de dichtingen in de behuizing: als deze lekken en de coating begint af te bladderen of te oxideren, daalt de energiedichtheid drastisch.
Dus ja, de initiële kosten zijn hoger. Maar voor productielijnen met hoge volumes is het meestal de moeite waard.Als je rekening houdt met de energiebesparing en de kortere productietijden, betaalt zich de upgrade meestal al na een paar maanden terug.