Op het gebied van glaswafels zijn ze totaal anders dan silicium. Ze zijn transparant, hebben minder thermische massa en zijn veel gevoeliger voor temperatuurverschillen. Als de hete zone zelfs maar een beetje verschuift, begint het profiel van de fotoresist te veranderen. Hierdoor wordt de controle over de CD-kwaliteit verstoord, waardoor er al voor het proces volledig is afgerond schade optreedt. Hier komen de infraroodlampen die speciaal zijn ontworpen voor het bewerken van glas van pas: ze zorgen ervoor dat de warmte precies op de juiste plek terechtkomt.
Wat belangrijk is onder de motorkap We hebben het systeem gebouwd rondom korte golflengtesinfraroodemitters die zijn aangepast aan de absorptie van glas. Hierdoor wordt er snel en efficiënt warmte gegenereerd, met een responstijd van minder dan een seconde. Over het hele oppervlak van de wafel blijft de uniformiteit op ±0,1°C, waardoor zowel het zachte als het harde bakproces stabiel blijft. Het apparaat kan worden gebruikt in schone ruimtes van klasse 1–100. Er wordt geen enkel deeltje gegenereerd, waardoor de reproduceerbaarheid constant blijft. De output blijft stabiel gedurende meer dan 5.000 uur, met minder dan 5% daling. Het thermische profiel blijft ook na meerdere batches hetzelfde.
In de lithografie moet de temperatuur constant blijven, niet variëren. Onze infraroodlampen verminderen de energieverbruik door alleen de wafel en de directe omgeving te verwarmen. Hierdoor neemt het energieverbruik af en wordt het proces efficiënter. Er is minder behoefte aan herwerkingen en er wordt minder afval geproduceerd door te lang of te kort bakken. De snelle opwarmtijd verkort de tijd die nodig is voor het proces. De schone, droge warmte voorkomt dat er defecten op het oppervlak ontstaan, zodat deze pas later, tijdens het verpakken en controleren, worden ontdekt.
Hier zijn nog wat praktische tips. Voor de installatie is nauwkeurige optische alignering nodig, evenals een gespecialiseerde, gefilterde stroomopvoer om elektromagnetische storingen te voorkomen. Als je het apparaat wilt integreren in bestaande systemen, moet je rekening houden met een maatwerkmontagebracket en een korte tijd voor herconfiguratie. Nadat de lampen zijn opgewarmd, moet het apparaat even wennen aan de gewenste temperatuur van ±0,1°C. Zodra dit is bereikt, blijft het proces stabiel. Pas ook het spectrum van de emitter aan op de chemie van de fotoresist en het glasoppervlak – het gaat hier om een proces dat specifiek is afgestemd op jouw behoeften. Anders kan het gemakkelijk misgaan.