Het verwarmen van wafers wanneer de omstandigheden onstabiel zijn
Laten we eerlijk zijn: het plaatsen van een verwarmingselement in een ruimte vol brandbare chemische dampen is een spannende optie. Eén kleine vonk of één plek waar het apparaat te heet wordt, kan tot grote problemen leiden – niet alleen voor het apparaat zelf, maar ook voor de mensen om het heen.
Daarom bouwen we onze IR-lampen op een andere manier.
Het voorkomen van problemen
Het grootste probleem zijn meestal de elektrische contactpunten. Als er brandbare gassen binnendringen, ontstaan er problemen.
We gebruiken geen gewone dempende materialen. In plaats daarvan maken we gebruik van een gespecialiseerd verpakkingsproces met hoge-temperatuursglas-metaalsluitingen. Dit zorgt voor een echte, luchtdichte barrière.
Dit heeft twee voordelen: ten eerste blijven de agressieve oplosmiddelen weg van het tungstinfilament. Ten tweede voorkomt dit dat externe dampen kunnen ontbranden op de plekken waar de draden met elkaar verbonden zijn. Hierdoor heb je meer rust.
Het beheersen van de hitte (zonder stress)
Veiligheid gaat niet alleen over de sluiting van het apparaat, maar ook over hoe de hitte zich verspreidt.
We gebruiken kortegolf-IR-emitters, omdat deze snel de oppervlakte van de wafer bereiken. Hoe sneller de energie doordringt, hoe minder tijd de chemische dampen hebben om de hitte op te nemen. We verhogen ook de dikte van het kwarts, zodat de lampen niet breken wanneer de temperatuur snel verandert.
Een belangrijk punt: als je meer vermogen gebruikt, zal de kwartstube erg heet worden – echt heel heet.
Als de behuizing niet goed geventileerd is, zal de hitte zich binnenin ophopen. Om dit te voorkomen, raden we aan om een gecalibreerde PID-processor te gebruiken. Hierdoor blijft de temperatuur onder controle.
Het in bedrijf stellen
We hebben deze lampen zo ontworpen dat ze gemakkelijk kunnen worden vervangen. Niemand wil immers een hele week besteden aan het opnieuw aansluiten van het systeem.
De kabels gaan door explosieveiligingsbuizen, zodat eventuele elektrische fouten beperkt blijven tot die buizen. Zorg ervoor dat de connectoren op de juiste manier worden vastgemaakt. Je wilt immers geen vonken veroorzaken.
Als je al standaard IR-array’s gebruikt, kun je deze lampen gemakkelijk gebruiken. Controleer alleen of je veiligheidssensoren zijn afgesteld op de specifieke golflengte die wij gebruiken. Dan is alles in orde.