Op de productielijn is temperatuurverschillen geen academisch probleem – het heeft direct invloed op de kwaliteit van het eindproduct. Als de...

Op de productielijn is een temperatuurverandering van 0,5°C tijdens het bakproces voldoende om de kritieke afmetingen met enkele nanometers te...

Role Je kunt je op de fabrieksvloer geen afwijkingen veroorloven. Een verschuiving van 0,3°C in het fotoresist bake-proces en je kritische...