Op de productielijn is een temperatuurverandering van 0,5°C tijdens het bakproces voldoende om de kritieke afmetingen met enkele nanometers te veranderen. Eén slechte batch betekent dat je hele productiecyclus moet worden verwerpt. Onze internationale industriële verwarmingssystemen zijn ontworpen om deze situatie aan te kunnen: ze zorgen voor een constante temperatuur op het niveau van de wafer, binnen een marge van ±0,1°C, dag in dag uit, tijdens alle stappen van het proces.
Wat technisch gezien belangrijk is Het hart van dit systeem is een verwarmingsapparaat dat geschikt is voor gebruik in schone kamers en dat is ontworpen voor semiconductortechnologieën. De halogeen- en NIR-opties zorgen ervoor dat de warmte rechtstreeks in de fotoresist en het substraat terechtkomt. Hierdoor is er een snelle opwarmtijd, waardoor de totale cyctertijd wordt verkort zonder dat de reproduceerbaarheid wordt aangetast. De temperatuur blijft overal op de wafer constant, zodat de breedte van de lijnen binnen de vereiste grenzen blijft.
Er wordt geen enkele hoeveelheid stof gegenereerd, dankzij materialen met lage uitstoot en een goed afgesloten constructie. Deze apparaten kunnen 24/7 draaien, zonder onverwachte stilstand. De onderhoudsintervallen zijn lang, waardoor er minder reserveonderdelen nodig zijn en minder onderhoudswerk moet worden verricht.
Waarom het werkt in de litografie In litografieprocessen leidt constante temperatuur rechtstreeks tot minder herwerkingsmomenten en een hogere succeskans bij de eerste poging. De energieverbruik neemt af, omdat de verwarmingsapparaat snel de gewenste temperatuur bereikt en deze behoudt, zonder dat er sprake is van overtollige warmte. Hierdoor daalt de thermische kost per wafer.
Het apparaat past gemakkelijk samen met bestaande apparaten, zodat er geen extra integratierisico’s ontstaan. Omdat dezelfde thermische platform kan worden gebruikt in meerdere bakstations, blijft je strategie voor het beschikbaar houden van reserveonderdelen eenvoudig.
Wat je moet letten op Het is belangrijk dat de verwarmingsapparaten passen bij de geometrie van de ruimte en de luchtstroom. Zelfs een kleine onjuistheid kan leiden tot problemen. Plan een kort testproces om de PID-regeling en de isolatie af te stemmen op jouw specifieke omstandigheden en de luchtstroom in de ruimte.
Zorg er ook voor dat de uitgangsspanning en de type connectoren goed worden vastgesteld, rekening houdend met de specificaties van je apparatuur. Als dit niet goed wordt gedaan, moet er op locatie herstel worden uitgevoerd, wat niet in het budget is opgenomen.