Op de productielijn is het ‘bakken’ van de fotoresist geen tijdelijke pauze. Het is eerder een strenge vereiste. Als de hete plaat zich verplaatst, heeft dat invloed op de controle van de temperatuur. Als de uniformiteit niet goed is, leidt dat tot problemen bij de productie van de schijven. Bij MEMS is de thermische controle erg belangrijk; fouten in de temperatuur kunnen niet lang onopgemerkt blijven.
Wat technisch gezien belangrijk is
We hebben deze infraroodverwarmer ontworpen om de thermische controle in MEMS te verbeteren: kortegolflengte-infraroodlicht voor een snelle reactie, kwarts-halogeencomponenten voor een stabiele uitgangstemperatuur, en een gesloten bouwwijze die erop gericht is om de uniformiteit op het niveau van de schijf op ±0,1°C te houden. De hete zone is zo ontworpen dat deze kan worden gebruikt in schone ruimtes van klasse 1–100. De materialen en afwerkingen zijn zodanig gekozen dat er geen deeltjes worden gegenereerd en dat er geen gassen vrijkomen. Het gaat hier om herhaalbaarheid: elke keer weer dezelfde resultaten, elke dag weer.
Waarom dit past bij het MEMS-proces
Bij MEMS worden zowel milde als strenge warmtebehandelingen toegepast. Deze verwarmer zorgt ervoor dat er steeds dezelfde temperatuur wordt behaald, zodat zowel lineaire als niet-lineaire structuren consequent kunnen worden ontwikkeld. De snelle temperatuurstijging verkort de tijd die nodig is voor de behandeling, zonder dat de uniformiteit tussen de schijven wordt aangetast.
De energieverbruik neemt af, omdat alleen de gewenste zone wordt verwarmd, niet de hele schijf. De betrouwbaarheid komt tot uiting in de beschikbare tijd voor productie: er is geen onplanmateriële stilstand, en de onderhoudswerkzaamheden zijn voorspelbaar – geen verrassingen of noodsituaties.
Wat je moet plannen
Voor de installatie moet je rekening houden met de interface van de apparatuur, evenals de benodigde spanning en koeling. Meestal is dat 240V en een speciale lucht- of waterkoelmogelijkheid. De verwarmer past zich aan bij standaardlithografische apparatuur, maar het is belangrijk dat het optische pad vrij blijft; eventuele obstakels kunnen de thermische situatie veranderen.
Plan ruimte in de schone ruimte ruim van tevoren in. Als de ruimte te beperkt is, moet je rekening houden met de juiste afmetingen en toegang tot de apparatuur. Als dat goed geregeld is, kan het proces soepel verlopen. Dan hoef je alleen nog maar te kijken naar de specificaties die in de handleiding staan.