Het verminderen van de kooldioxide-uitstoot in de halfgeleiderproductie door gebruik te maken van goudcoateerde IR-lampen
Als je je koolstofvoetafdruk in de halfgeleiderproductie wilt verminderen, moet je eerst kijken naar de warmte. Het is meestal hier dat de meeste energie verloren gaat.
Daarom gebruiken we goudcoateerde IR-lampen met twee buizen. Het gaat hier niet om gewone verwarmers; het zijn eerder precisietools die energie rechtstreeks op het substraat richten. Hierdoor hoef je geen tijd en energie meer te verspillen aan het opwarmen van de hele ruimte, zodat de chip op de juiste temperatuur komt.
Waarom goud?
Standaard kwartsbuisjes lekken veel energie naar de omringende lucht. Door een dunne laag goud op de buizen aan te brengen, veranderen we de manier waarop de warmte zich verspreidt. Het goud weerkaatst de infraroodstraling terug richting het doelwit. Hierdoor wordt de warmtestroom geconcentreerd. Het resultaat? Een beter thermaal profiel en snellere opwarmtijden. Als de lamp sneller de juiste temperatuur bereikt, neemt de energieverbruik per chip af. Het is een simpele manier om een ‘groene fabriek’ te creëren – je hoeft geen energie meer te verspillen.
Het dubbelbuisontwerp
Het dubbelbuisontwerp is handig, omdat het de verwarmingsoppervlakte verdubbelt zonder meer ruimte in te nemen. Hierdoor kun je meer vermogen gebruiken, zonder dat de filamenten overbelast raken. Dit is ideaal voor snel thermisch bewerken, waarbij hoge vermogensdichtheid nodig is. Maar let op: wanneer je zoveel vermogen in een klein gebied stoppt, moeten de koelsystemen perfect werken. Als de luchtcirculatie slecht is, kunnen de uiteinden van de lampen beschadigen. Het is een compromis, maar dit kan gemakkelijk worden gemanageerd als alle specificaties goed zijn.
Het verbeteren van het milieu
Het vervangen van oude resistieve verwarmers of conventionele ovens door goudcoateerde IR-systemen is logisch. Je kunt deze lampen aansluiten op zonesystemen, zodat je alleen waar nodig warmte toepast. Hierdoor wordt er geen energie meer verspild. Door de tijd die nodig is voor het proces te verkorten en de energieverbruik te verminderen, neemt de koolstofintensiteit van je productieproces af. Op deze manier kun je je doelstellingen van koolstofneutraliteit behalen, zonder dat je productiecapaciteit afneemt. Het is dus een win-winsituatie.