Stop met het opwarmen van de machine en begin in plaats daarvan het oppervlak van de wafer op te warmen.
Dit is het probleem met de meeste opwarmingssystemen in semiconductiefabrieken: ze zijn erg inefficiënt.
Als je standaard stralingsverwarmers gebruikt, gaat de warmte overal naartoe. Het is alsof je probeert één kaars aan te steken met een groot vuur. Hierdoor worden de binnenwanden van je dure apparatuur tot soort ‘koelmiddelen’. Al snel wordt het te heet om de apparatuur aan te raken, en maak je je zorgen of de elektronica eromheen niet beschadigd zal raken.
Het is een verspilling van energie. En eerlijk gezegd: het is ook een veiligheidsprobleem.
Het trucje is om gerichte warmte te gebruiken.
Wij gebruiken gecertificeerde infraroodlampen om dit op te lossen. In plaats van de lucht in de kamer op te warmen – wat eigenlijk tijdverspilling is – stuuren deze lampen elektromagnetische straling rechtstreeks naar het materiaal dat moet worden opgewarmd. Of het nu kortegolfrond of midden-golfrond infrarood is: de energie bereikt het doelmateriaal zonder dat de rest van de ruimte oververhit raakt.
Maar het echte geheimzinnige element zijn de met goud bedekte reflectoren. Ze werken als lenzen en brengen de infraroodstralen samen in een nauwkeurig gerichte straal. De warmte bereikt dan precies waar het nodig is, zonder dat de buitenkant van de machine wordt oververhit.
Geen ‘oveneffect’ meer.
Doordat de energie gericht wordt gestuurd, blijven de wanden koel. Dat is een grote opluchting, want je hoeft geen enorme, lawaaierige koelventilatoren meer te gebruiken of dik isolatiemateriaal op de binnenkant van de machine te gebruiken.
Eén ding moet je wel onthouden: je moet de afstand goed instellen. Als de lamp te dichtbij staat, ontstaan er hete plekken die je werk kunnen verpesten. Als de lamp te ver weg staat, verspreidt zich de straal, waardoor het hele systeem nutteloos wordt.
De nadelen die je moet kennen.
Gericht infraroodlicht is erg nauwkeurig, maar het vereist precisie. Als de lamp zelfs maar een paar millimeter verschuift, verandert het warmtestpatroon. Je kunt het niet zomaar ‘inschakelen en vergeten’. Je hebt stevige bevestigingsmiddelen nodig om te voorkomen dat trillingen de nauwkeurigheid van het proces beïnvloeden.
En ten slotte: deze hoge-intensiteitslampen hebben veel energie nodig. Ze trekken veel stroom op. Zorg ervoor dat je stroomvoorziening dit kan aan, anders zul je de hele middag bezig zijn met het herstel van gevalletjes waarbij de schakelaars uitvallen.