Infraroodverwarming versus hete lucht: Welke methode werkt eigenlijk het beste voor uw wafers?
Als u nog steeds hete lucht gebruikt voor de verwerking van semiconductoren, bent u feitelijk bezig met wachten op resultaten.
Stel u eens voor hoe dit werkt: u verwarmt de lucht, die vervolgens de kamer verwarmt. Na een tijdje wordt de wafer dan warm. Het is een trage kettingreactie. Met infraroodverwarming wordt deze tussenliggende stap weggelaten. Er wordt gebruik gemaakt van elektromagnetische straling om energie rechtstreeks naar het oppervlak van de wafer te sturen. Geen wachten nodig.
De tijd tikt door…
In een fabriek waar veel producten worden geproduceerd, is elke seconde belangrijk. Met hete lucht moet u lang wachten tot de kamer op temperatuur is, zodat het materiaal niet beschadigt raakt. Dat is frustrerend. Maar met infraroodlampen bereikt u de gewenste temperatuur in slechts enkele seconden. In plaats van te wachten tot de ventilator warme lucht verspreidt, stuurt u fotonen rechtstreeks naar het materiaal. Dat gaat snel – echt heel snel. Hierdoor kunt u de productiestappen versnellen en meer wafers verwerken.
Het vinden van de ‘ideale afstand’
U kunt geen infraroodlamp direct tegen de wafer zetten. Dat leidt tot problemen. Als de lamp te dichtbij staat, ontstaan er hete plekken die het materiaal kunnen beschadigen. Maar als de lamp te ver weg staat, mist u de benodigde intensiteit. Het gaat erom een ideale afstand te vinden, afhankelijk van de hoeveelheid energie die nodig is per vierkante centimeter.
De nadelen die u moet kennen
Infraroodverwarming is zeer snel, maar het heeft één nadeel: het is directioneel. Hete lucht omhult het materiaal als een deken. Infraroodverwarming verwarmt alleen datgene wat het kan ‘zien’. Dus als uw wafer een complexe vorm heeft of dat het materiaal van alle kanten gelijkmatig moet worden verwarmd, zal één lamp niet voldoende zijn. U hebt waarschijnlijk meerdere lampen nodig of een reflecterende kamer om de energie te verspreiden. Houd er rekening mee dat dit meer ruimte vereist.
En nog een tip: gebruik een nauwkeurige PID-regelaar. Omdat de energieoverdracht zo snel gebeurt, kan het gemakkelijk gebeuren dat de temperatuur te hoog wordt. Als de sensoren niet in real-time reageren, kan dat tot grote problemen leiden.