为什么金涂层对晶圆固化如此重要
在晶圆固化过程中，人们真正关心的只有一个问题：如何将适量的热量传递到晶圆上，同时避免浪费大量能量。通常情况下，大量的红外能量会泄漏到机器的机壳中，这就造成了能源的浪费。
这时，镀金反射器就派上用场了。
金的神奇之处（以及为什么铝不可行）
大多数人最初会选择铝制反射器，但这样做有个问题：对于波长较长的红外线，铝根本无法有效反射它们。而金则完全不同——它能够反射98%以上的红外线。
通过在灯罩表面涂覆一层薄薄的镀金层，我们就能让那些光子重新指向晶圆。这样一来，每一瓦特的能量都能得到更有效的利用。这样一来，就能更快地达到所需的温度，从而节省大量时间。
反射器的形状至关重要
反射器的形状决定了热量会被引导到何处。如果使用抛物面形状的反射器，热量会集中在一个狭窄的范围里。如果希望热量能更均匀地分布，那就需要使用椭圆形的反射器。不过，有一点很关键：如果反射器的角度有哪怕几度的偏差，就会出现热点现象。这些热点会破坏晶圆的结构，导致固化效果不均匀。因此，我们必须确保反射器的角度与灯的焦点完全一致。
缺点：金涂层较为脆弱
虽然金能提供最好的反射效果，但它并非坚不可摧。金质地柔软，表面的任何划痕或化学污染都可能影响其反射效率。你不能直接用 abrasive 来清洁它，否则会损坏它。同样的，如果灯罩的密封性能不佳，导致涂层脱落或氧化，那么其能量密度也会大幅下降。
所以，虽然初始成本较高，但对于大规模生产来说，从长远来看还是值得的。考虑到能源的节约以及更快的生产速度，这种升级通常能在几个月内收回成本。