利用镀金双管灯降低制造过程中的碳排放 如果想减少半导体制造业的碳足迹，那就必须从控制热量开始。因为通常情况下，大部分能量都会在加热过程中白白浪费掉。 因此，我们采用了镀金的双管红外灯。它们并非普通的加热器，而更像是能够将能量直接传递到基材上的精密工具。这样就不必浪费时间和能源来让整个腔室达到合适的...

在光刻车间，光刻胶烘烤温度出现0.5℃的漂移，会导致整托盘报废，甚至在发现前就已经造成损失。加热必须精确到工艺卡要求的位置——每一次都如此，且不能产生颗粒或引入工艺波动。 技术要点 我们基于短波近红外（NIR）元件和特选石英组件构建了双管红外灯，旨在实现快速、定向加热，且热惯性极小。核心指标是目标...