晶圆干燥炉定时器

在工厂车间，时间不是一种便利——它是一个需要尊重的参数。轻微延迟的软烘烤会在光刻胶中滞留溶剂，而这在进行光刻步骤时是缺陷的明显邀请。缩短干燥周期会留下水分。水分意味着氧化。 晶圆干燥炉的定时器使得时间成为一个可重复且可测量的变量。它确保过程的可靠性。 在技术上，重要的是可重复性——在一秒钟内——与...