定制工业红外制造系统

在晶圆厂车间，漂移是不可承受的。光刻胶烘烤温度偏差0.3℃，关键尺寸预算即告失效。良率在蚀刻腔室接触晶圆之前就开始下滑。我们开发的定制工业红外晶圆厂系统，旨在防止这种情况发生——通过让热控跟随工艺，而非工艺受限于热控。 技术上关键的是简单的：将热曲线匹配到光刻和光刻胶需求。我们采用近红外发射器、响...