用于光刻机的石英玻璃防护罩
在环境不稳定的情况下,如何确保红外灯的安全使用?
说实话,在易燃气体和易爆化学物质存在的环境中使用高温红外灯确实是一件令人担忧的事情。一旦出现火花或泄漏,就会引发严重的麻烦。
我们找到了解决这个问题的方法:那就是将加热元件与周围的空气完全隔离开来。我们通过使用专用的石英护罩以及严密的密封结构来实现...
玻璃晶圆加工红外灯
在光刻过程中,玻璃晶圆与硅晶圆有着本质上的不同。玻璃晶圆是透明的,热质量较低,而且对温度变化的敏感度极高。一旦高温区域出现哪怕很小的偏移,光刻胶的分布就会受到影响,从而导致CD精度的下降。而专为玻璃加工设计的红外灯则可以精准地将热量传递到所需位置,避免其他部位受到影响。
系统设计的关键点
我们设计...