利用红外线技术正确干燥MEMS晶圆 如果您正在建设智能工厂，那么您一定知道：一切都需要以数据为驱动。不过，在干燥MEMS传感器晶圆时，硬件的重要性与软件同样重要。正因如此，我们放弃了传统的对流式烘箱，转而使用短波红外线系统。 这种方式效率更高，同时还能防止化学物质侵入，从而避免损坏晶圆。 控制热量...

在生产车间里，光刻胶的烘干过程并非可以暂停的操作，而是一项必须完成的工序。如果加热板的位置出现偏差，那么光盘的形状控制也会受到影响。一旦温度分布不均匀，整个晶圆的良率就会下降。在MEMS制造中，对温度的控制要求极为严格，因为温度误差很容易持续存在。 从技术层面来看，什么才是最重要的？ 我们设计了这...