利用红外线技术正确干燥MEMS晶圆
如果您正在建设智能工厂，那么您一定知道：一切都需要以数据为驱动。不过，在干燥MEMS传感器晶圆时，硬件的重要性与软件同样重要。正因如此，我们放弃了传统的对流式烘箱，转而使用短波红外线系统。
这种方式效率更高，同时还能防止化学物质侵入，从而避免损坏晶圆。
控制热量
对于MEMS晶圆来说，关键在于如何快速去除水分，同时又不给晶圆带来过大压力。不能简单地用高温来处理晶圆，那样做只会适得其反。
我们使用高功率石英灯，将热量精确地施加在需要的位置。通过调整电压和工作时间，可以实时改变热强度。无论处理的是较薄的晶圆还是结构复杂的传感器，该系统都能灵活应对。
由于响应时间极快，PLC可以根据实时反馈来调节热量。这正是现代数字化工厂应有的运作方式。
硬件的细节
我们选用高纯度石英材料作为加热器的外壳。因为最不希望看到的就是有气体从加热器中释放出来，进而影响到晶圆。
我们将这些灯按照特定方式排列，以便让热量均匀地作用于晶圆的每一个部分。此外，我们还使用了专用连接器。相信我，当机器开始振动时，绝对不能让任何部件松动。
不过，高强度的红外线会产生大量热量。虽然晶圆能迅速干燥，但周围的元件却会承受巨大压力。因此，您需要妥善设计冷却装置和排风系统，否则控制电路就会损坏。
实现“智能化”
在数字化工厂中，每个部件都应能够反馈其工作状态。我们的红外线系统可以直接与SCADA系统相连。这样，您就可以随时了解每盏灯的磨损情况，以及每块晶圆所消耗的电量。这样一来，您就无需遵循固定的维护计划，而可以在问题出现时及时进行处理。
一旦某盏灯的性能下降，系统会立即发出警报。您就可以在产量下降之前更换该部件。这就是数据驱动型生产线的优势所在。