TSV 硅穿通电极 加热器

在晶圆加工过程中，如果在晶圆干燥或光刻胶烘烤阶段出现温度波动，那不仅会导致生产中断，还会在晶圆上留下缺陷。这些缺陷在电气测试时才会显现出来，到那时再处理就为时已晚了。TSV加热器的作用就是从源头防止这种温度波动，确保每个加热步骤都处于可控状态。 关键在于什么？ 我们设计TSV加热器时，会确保晶圆表...