利用镀金双管灯降低制造过程中的碳排放
如果想减少半导体制造业的碳足迹，那就必须从控制热量开始。因为通常情况下，大部分能量都会在加热过程中白白浪费掉。
因此，我们采用了镀金的双管红外灯。它们并非普通的加热器，而更像是能够将能量直接传递到基材上的精密工具。这样就不必浪费时间和能源来让整个腔室达到合适的温度了。
为什么选择黄金涂层？
普通的石英管存在漏热问题，大量能量会泄漏到周围空气中。而在双管结构上加上薄薄的黄金涂层后，就能改变热量的传播方式。黄金能够将红外辐射反射回目标区域，从而集中热量。这样一来，就能实现更精确的温度控制，同时也能缩短升温时间。当灯泡更快达到目标温度时，每块晶圆的能耗也会随之降低。这其实是一种简单的“绿色工厂”建造方法——无需再浪费能源。
双管结构的优势
双管设计非常巧妙，因为它能在不占用更多空间的前提下，增加加热面积。这样一来，就可以使用更高的功率，而不会使任何一根灯丝因过热而损坏。这种设计非常适合需要高功率密度的快速热处理工艺。不过需要注意的是，当如此高的功率被集中在狭小空间内时，冷却系统必须足够完善。如果气流不足，灯泡就可能会烧毁。不过，只要参数设置得当，这个问题是可以克服的。
为地球做出贡献
用镀金红外灯取代那些传统的电阻式加热器或笨重的对流式烤箱，显然是个明智的选择。你可以将这些灯连接在分区控制器上，从而只在需要的地方施加热量。这样就避免了过度加热的问题。通过缩短处理时间并减少能源消耗，整个生产过程的碳强度就会下降。这样，你就能在保持高生产效率的同时，实现碳中和的目标。真是双赢的局面啊。