停止用热空气来加热，直接对工件进行加热吧。
如果你仍在半导体生产线上使用热空气来进行固化或干燥处理，那你肯定已经遇到了同样的问题：空气其实并不擅长传递热量。因此，你不得不等待空气将工件彻底加热，而在此期间，大量的能源被浪费在加热整个炉腔上。这实在是一种浪费。
有个更好的方法：使用无臭氧的红外辐射技术。与空气相比，红外灯利用的是电磁辐射，这种辐射可以直接照射到工件上。无需等待对流循环来完成加热过程，也没有能量浪费。这样一来，加热速度会快得多。这其实只是从传导加热转变为辐射加热而已，却能节省大量时间。
不过，传统的红外技术也有缺点。通常，短波红外辐射会在遇到氧分子时产生臭氧。在洁净室里，臭氧是极大的隐患——它会腐蚀工具，还会破坏敏感的电子元件。为了解决这个问题，我们可以使用经过过滤的发射器以及特殊的石英材料，从而阻挡真空紫外线的干扰。这样，既能获得所需的温度，又能保持工作环境的清洁。另外，也不需要再安装那些庞大且噪音大的排风系统了。
不过，这并不是所谓的“即插即用”的解决方案。你必须确保反射器的位置准确无误，否则就会出现局部过热的情况。而在半导体生产中，局部过热会导致晶圆变形或整批产品报废。此外，红外辐射还会产生强烈的局部热量。在更换设备之前，最好先检查一下设备的结构，可能需要在这类设备的外壳上加装冷却风扇，以避免线路被烧毁。
总而言之，如果你希望提升生产效率，那么这就是最好的办法。与其继续依赖热空气加热，不如直接对工件进行加热吧。