Op de productieafdeling is thermische afwijking tijdens het verhitten van de fotoresist een groot probleem voor de kwaliteit van het eindproduct. Als het verhittingproces niet gelijkmatig verloopt, gaan de lijnen op de schijf uit elkaar lopen. Onregelmatigheden in het verhittingproces zorgen bovendien voor onzuiverheden en restanten. We hebben een keramisch infraroodverwarmingspaneel ontwikkeld om deze variabelen te elimineren. Dit paneel zorgt voor een stabiele warmtestroom die precies overeenkomt met de ingestelde temperatuur, zonder dat er sprake is van overschrijdingen of vertragingen.
Wat belangrijk is onder de motorkap
Het paneel werkt door straling, en niet door convectie. Het maakt gebruik van kortegolfinfraroodelementen die in een keramische behuizing zitten. Het duurt minder dan 2 seconden voordat de gewenste temperatuur wordt bereikt. De uniformiteit op het oppervlak van de schijf is ±0,1°C over het actieve gebied. De herhalbaarheid is ±0,5°C per batch, zodat de thermische parameters consistent blijven. Het oppervlak is zo ontworpen dat er geen deeltjes vrijkomen, waardoor het paneel geschikt is voor cleanrooms van klasse 1–100. De materialen kunnen ook tegen agressieve reinigingsmiddelen, zonder dat er gasen vrijkomen. Elektrisch gezien voldoet het paneel aan de standaarden voor halfgeleiderapparatuur: lage EMI en goede isolatie.
Waarom dit belangrijk is in de lithografie
Bij lithografie en het verwerken van fotoresist heeft deze precisie invloed op de controle van de cruciale dimensies en leidt het tot minder herwerkzaamheden. Het zachte verhittingproces zorgt voor een constante kwaliteit, zodat er geen oplosmiddelen achterblijven. Het harde verhittingproces zorgt voor een betere hechting van de composietlagen, waardoor er minder oneffenheden en restanten ontstaan. De snelle respons van het paneel verkort de tijd tussen de verschillende verhittingsprocessen, zodat de productiecapaciteit toeneemt zonder dat er meer energie nodig is. Het paneel kan 24/7 draaien, met minimale onderhoudskosten – er zijn geen problemen als gevolg van brandende filamenten of hete plekken. Hierdoor blijft het onplanbare stilstandstijd op nul. Als alternatief voor geïmporteerde verwarmingselementen past dit paneel gemakkelijk in bestaande apparaten, waardoor de kwaliteit van het proces behouden blijft en de kosten voor reserveonderdelen dalen.
Veldnotities
Voor de installatie moet de mechanische vorm van het apparaat en het type connectoren worden overeengebracht met die van het paneel. Controleer ook de aligneringsvereisten; dit zorgt voor een gelijkmatige verdeling van de warmte. Het paneel presteert het beste bij een stabiele spanning. grote schommelingen in de spanning kunnen de nauwkeurigheid van de temperatuurregeling beïnvloeden. Het is dus verstandig om een lokale spanningregelaar te gebruiken. Voer eerst een kort testproces uit om de temperatuurverschillen op de schijf vast te stellen en de juiste instellingen te bepalen.