팹의 가열 과정에서 열이 낭비되는 것을 막아보세요. 솔직히 말해서, 전력을 낭비하는 것은 그저 돈을 버리는 행위에 불과합니다. 대부분의 팹에서는 일반적인 알루미늄 반사체가 사용되지만, 문제는 이 반사체들이 적외선 에너지를 흩뜨린다는 점입니다. 그로 인해 열이 웨이퍼에...

상황이 불안정해질 때 IR 램프를 안전하게 보호하는 방법 솔직히 말해서, 가연성 증기나 폭발성 화학물질이 있는 곳에서 고온의 IR 램프를 사용하는 것은 매우 위험한 일입니다. 작은 불꽃이나 누출만 있어도 큰 문제가 생길 수 있습니다. 하지만 이러한 스트레스를 줄일 수...

왜 반도체 경화를 위해 탄소섬유 기반의 적외선 램프를 사용하는가? 솔직히 말해서, 과거의 방식인 용매를 이용한 건조나 대형 대류 오븐을 사용하는 방식은 더 이상 효과적이지 않습니다. 속도가 느리고, 크기도 크며, 관리하기도 까다롭습니다. 그래서 우리는 탄소섬유 기반의...

기계를 가열하는 대신 웨이퍼를 직접 가열해 보세요. 반도체 제조 공장에서 사용되는 대부분의 가열 장치에는 문제가 있습니다. 바로 열이 고르게 분포하지 않는다는 점입니다. 일반적인 방사형 히터를 사용하면 열이 사방으로 퍼져나갑니다. 마치 큰 불길로 작은 촛불을 밝히려는...

왜 스테인리스 스틸로 만들어진 히터 하우징에 대해 전기적 성능 검사를 꼭 하는가? 산업용 히터용 스테인리스 스틸 하우징을 제작할 때, 그 금속 케이싱은 사실상 첫 번째 방어선 역할을 합니다. 하지만 문제는, 케이싱의 성능은 그 안의 절연체의 성능에 달려 있다는 것입니...

팹 내의 탄소 배출을 줄이는 방법: 왜 적외선 가열이 효과적인가? 반도체 팹을 탄소 중립 상태로 만들고 싶다면, 열을 어떻게 처리하는지에 대한 문제를 무시해서는 안 됩니다. 대부분의 구식 대류식 오븐이나 저항식 히터들은 에너지를 낭비하고 있습니다. 웨이퍼에 열이 전달...

왜 우리는 400V 고밀도 적외선 히터를 만들었을까요? 공장 현장에서 느끼는 그 감정을 아시나요? 비싼 수입형 히터를 바라보며, 같은 성능에 왜 그렇게 많은 돈을 지불해야 하는지 의문이 드는 그런 상황 말입니다. 우리도 그런 경험을 했습니다. 그래서 우리는 단 하나의...

실제로, 온도 변동은 단순한 학문적 문제가 아닙니다. 이는 생산 효율에 직접적인 영향을 미칩니다. 약간의 온도 변동만으로도 포토레지스트의 두께와 CD 제어에 문제가 생깁니다. 반대로, 너무 높은 온도에서 가열하면 스트레스가 발생하여 가장자리에 결함이 생길 수 있습니다...

공장 현장에서는, 포토레지스트를 가열하는 과정에서 0.5°C만큼의 온도 변동이 있어도 치명적인 결과가 발생할 수 있습니다. 한 번만 불량 제품이 나와도 전체 생산 과정을 폐기해야 합니다. 저희는 이러한 현실을 고려하여 국제적인 산업용 히터를 개발했습니다. 이 히터는...