왜 반도체 경화를 위해 탄소섬유 기반의 적외선 램프를 사용하는가?
솔직히 말해서, 과거의 방식인 용매를 이용한 건조나 대형 대류 오븐을 사용하는 방식은 더 이상 효과적이지 않습니다. 속도가 느리고, 크기도 크며, 관리하기도 까다롭습니다.
그래서 우리는 탄소섬유 기반의 적외선 램프를 사용하게 되었습니다. 이 램프들은 방 안의 공기를 가열하는 데 시간을 낭비하지 않고, 직접 기판을 가열합니다. 이는 훨씬 효율적인 방식이며, ‘친환경적이고 유해물질이 없는’ 제조 공정에도 잘 어울립니다.
이 기술의 작동 원리
전류가 흐를 때 열이 발생하는 구리 필라멘트와는 달리, 우리는 석영 케이스 안에 탄소 기반의 필라멘트를 사용합니다. 이 필라멘트는 중장파 적외선을 강력하게 방출합니다. 가장 좋은 점은, 이 에너지가 포토레지스트나 접착제층에 바로 전달된다는 것입니다. 연소원이 필요 없으며, 오존을 생성하는 UV 램프도 필요 없습니다. 그저 깨끗한 열만 있으면 됩니다. VOC도 없고, 난장판도 되지 않습니다.
속도와 성능 (주의사항 포함)
이 램프들은 매우 빠릅니다. 정말로 빠릅니다.
탄소 필라멘트는 많은 열을 저장하지 않기 때문에, 거의 즉시 열을 발생시킵니다. 따라서 라인이 움직이기를 기다리는 동안 엄청난 양의 에너지를 낭비할 필요가 없습니다.
하지만 열 밀도가 매우 높다는 점에 주의해야 합니다. 빠른 속도로 작업하려면, 컨베이어의 냉각 구역이 충분히 크어야 합니다. 그렇지 않으면 웨이퍼가 변형되거나 가장자리가 과열될 수 있습니다.
실제 환경에서의 활용
무연 납땜제나 친환경 접착제를 사용할 때는 그 물질들이 매우 까다롭다는 것을 알고 있습니다. 이러한 물질들은 손상되지 않으면서 경화되도록 매우 특정한 온도 조건이 필요합니다.
탄소섬유 기반의 적외선 램프를 사용하면, 물질이 흡수해야 하는 파장을 정확하게 조절할 수 있습니다. 그렇게 하면 강력한 화학 촉매에 의존할 필요가 없습니다.
게다가 공간도 크게 절약됩니다. 기존의 대류식 오븐을 대체함으로써, 경화 장치의 크기를 절반으로 줄일 수 있습니다. 방 전체를 가열하는 대신, 실제로 필요한 부분만 가열하면 됩니다.